电子探针微量分析的原理和特点,测试针厂家为你讲解


发布时间:

2022-06-16

测试针厂家认为一般的化学分析方法只能得到分析样品的平均成分,但在电子显微镜上可以实现与微区形貌对应的微区分析,是研究材料结构和元素分布极为有用的分析方法。今天我们来谈谈电子探针微量分析的原理和特点。

测试针厂家认为一般的化学分析方法只能得到分析样品的平均成分,但在电子显微镜上可以实现与微区形貌对应的微区分析,是研究材料结构和元素分布极为有用的分析方法。今天我们来谈谈电子探针微量分析的原理和特点。

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测试针厂家认为电子探针的主要功能是分析微区成分。它是根据电子光学和X射线光谱学原理研制的分析仪器。电子探针仪的镜筒部分结构与扫描电子显微镜基本相同,只是探测器部分采用了X射线光谱仪,专门用来探测X射线的特征波长或能量,分析微区的化学成分。

测试针厂家认为除了专用的电子探针仪器外,相当数量的电子探针仪器作为附件安装在扫描电子显微镜或透射电子显微镜的镜面上,以满足微观区域微观结构、晶体结构和化学成分三位一体同时分析的需要。

测试针厂家认为电子探针的镜筒和样品室与扫描电子显微镜没有本质区别。因此,为了使仪器兼具形态分析和成分分析的功能,扫描电子显微镜和电子探针经常结合在一起。电子探针的信号检测系统是X射线光谱仪,用来测量特征波长的光谱仪称为WDS或光谱仪。用于测量X射线特征能量的光谱仪称为能量色散光谱仪(EDS)或能谱仪。

测试针厂家认为在电子探针中,X射线由样品表面下一微米甚至纳米的作用体积激发。如果这个体积中有许多元素,就可以激发出具有每个对应元素特征波长的X射线。特征X射线的波长(或频率)不随入射电子的能量(加速电压)而变化,而是由构成材料的元素种类(原子序数)决定。

测试针厂家认为不同元素的特征X射线波长差异很大。为了使可分析元素尽可能地覆盖同周期表中的所有元素,需要配备几个表面距离不同的光谱晶体。在光谱仪中,X射线信号来自样品表面的微小体积,可以看作是点光源,所以点光源发出的X射线是发散的,只有很小一部分能到达光谱晶体表面,信号非常微弱。

测试针厂家认为多通道分析仪有一个由许多存储元件(称为通道)组成的存储器。与X光子能量成正比的时钟脉冲数根据大小分别进入不同的存储单元,存储单元为每个时钟脉冲数记录一个光子数,因此通道地址与X光子能量成正比,通道计数为X光子数。